اندازه گیری نمای فراوانی فسفر کشت شده فراسطحی در سیلیسیوم
نویسندگان
چکیده
مطالعه ای را برای به دست آوردن نمای فراوانی فسفر(مقدار فسفر بر حسب عمق از سطح) فراسطحی و به منظور تکمیل مطالعات مشابه درمورد بر(b) شروع کرده ایم. کشت فراسطحی فسفر و بر, از نظر مطالعه, طراحی و ساخت تراشه های الکترونیک با چگالی زیاد اهمیت فراوان دارند. در این مقاله, گزارشی از چگونگی اندازه گیری نمای فراوانی فسفر با استفاده از ترکیب طیف نگاری جرمی, زمان پرواز یون ثانویه (tof-sims) و تجزیه فرایند هسته ای 31p(?,p)34s تهیه شده است. با این که سطح مقطع این فرایند هسته ای کوچک است, امکان محسبه مقدار مطلق فسفر کشت شده در سیلیسیوم در عمق کمتر از nm 20 را ایجاد نموده ایم. به این منظور دو مجموعه از نمونه های سیلیسیوم را که درآن فسفر کشت شده بود تهیه کردیم. در یک مجموعه از نمونه ها, فسفر به مقدار 1´1014cm-2 تا 3´1015cm-2 با انرژی 8kev و در مجموعه نمونه دوم فسفر به مقدار 1´1013cm-2 تا 1´1015cm-2 با انرژی kev 1 تا kev 30 کشت شده است. در این مطالعه اثری از کنش خود به خودی دیده نشد.
منابع مشابه
اندازه‌گیری نمای فراوانی فسفر کشت شده فراسطحی در سیلیسیوم
We have initiated a study to extract concentration profiles of ultra shallow phosphorous implants in silicon complementing published work on ultra shallow boron implant profiles. There is an ever-increasing interest in the production of p-n junctions in silicon to create the new generations of ultra large scale integrated (ULSI) devices. Such junctions can be formed by implantation do pants (...
متن کاملاثر بربرین در تنظیم آستروسیتهای Gfap+ ناحیه هیپوکمپ موشهای صحرایی دیابتی شده با استرپتوزوتوسین
Background: Diabetes mellitus increases the risk of central nervous system (CNS) disorders such as stroke, seizures, dementia, and cognitive impairment. Berberine, a natural isoquinolne alkaloid, is reported to exhibit beneficial effect in various neurodegenerative and neuropsychiatric disorders. Moreover astrocytes are proving critical for normal CNS function, and alterations in their activity...
متن کاملاثر بربرین در تنظیم آستروسیتهای Gfap+ ناحیه هیپوکمپ موشهای صحرایی دیابتی شده با استرپتوزوتوسین
Background: Diabetes mellitus increases the risk of central nervous system (CNS) disorders such as stroke, seizures, dementia, and cognitive impairment. Berberine, a natural isoquinolne alkaloid, is reported to exhibit beneficial effect in various neurodegenerative and neuropsychiatric disorders. Moreover astrocytes are proving critical for normal CNS function, and alterations in their activity...
متن کاملاندازه گیری تنش پسماند در نانوساختارهای نیکل-سیلیسیوم
با توجه به کاربرد روز افزون لایه های نازک در قطعات الکترونیکی و محصولات فناوری های مدرن، آشنایی بیشتر با خواص لایه های نازک ضروری به نظر می رسد. از آنجا که خواص لایه های نازک به ساختار ریز آنها وابستگی شدید دارد، بنابراین بررسی میکروساختار و نانوساختار این گونه لایه ها با کیفیت بهتر خواهد شد. ازجمله خواص میکروساختاری لایه های نازک درجه تبلور، جهت گیری ترجیهی، اندازه دانه ها، میزان تنش و کرنش ای...
15 صفحه اولاندازه گیری و مقایسه غلظت پرتوزایی رادن در ساختمان های با نمای داخلی از سنگ گرانیت و کربناتی
Based on the last presented reports of UNSCEAR, inhalation of radon gas and its short-lived decay products is a major contributor to the human exposure from natural radioactivity. Lung cancer is the known effect on human health from exposure to radon in air. Radon is found in outdoor air of buildings of all kinds. The main important isotope of radon is 222Rn. Radon (222Rn) is a noble gas...
متن کاملمنابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
عنوان ژورنال:
پژوهش فیزیک ایرانجلد ۴، شماره ۲، صفحات ۱۰۹-۱۱۶
کلمات کلیدی
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023